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3D线形测量仪

日期: 2021-10-19
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在线AOI-100系列



设备特点

        3D线型测量仪主要用于扫描PCB蚀刻板的特定线路区域的导体基材形态获得3D点云数据进而测量得到相关的高精度尺寸数据。该测量仪通过白光干涉原理可获得导体线路的上下幅宽、导体线间线距、导线铜厚,表面粗糙度等形态数据,并具备以下优点: 

● 采用非接触式测量技术,不破坏待测量物体表面。

● 面测量而非逐点扫描,量测速度快而准,精度可达um级。

● 可使用CAM资料导入方式指定测量取样点,程序自动对位自动查找取样区域并测量。

● 一次测量可以获得线宽/线距/导体铜厚/极差等高精度数据结果,并可输出报表。



设备规格

机台型号

LGCT-3D

机台尺寸 L×W×H

2150×1780×1950mm

整机重量

 1600KG

电源需求

3P/AC380+N+PE  4KW

压缩气压

φ8mm PU TUBE 3-5kgf/cm² 1L/min 

工序段

蚀刻后/阻焊前

测量视场范围

3.0×1.5mm  / 3.0×3.0mm

测量点选取方式

  1.手动选点    2.CAM导入自动选点

板厚范围

0.1 ~ 10 mm (3.9 ~ 393mil)

线宽测量重复精度

±1um (RMS)

铜箔厚测量范围

12 ~ 300um  (0.5 ~ 11.8mil)

线宽测量范围

15 ~ 3000um (0.6 ~ 118mil)

线距测量范围

15 ~ 2800um (0.6 ~110mil)

定位精度

  ±0.01mm

线路区单点测量时间

普通测量   +  铜厚精测: 3.0×1.5mm 3s+1s ;

大视场测量  +  铜厚精测: 3.0×3.0mm 4s+2s ;  

检测方法

白光干涉测量法 / 对位自动测量

CAM 数据格式

支持ODB++文件格式

操作界面

WIN 10 64 Bit Enterprise 支持中英文

最大检测尺寸(H*W)

 28.5 × 26 Inch(724 × 660mm)



3D线形测量仪                3D线形测量仪


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